静圧軸受け機構を利用した高速・精密位置決め用エアサーボテーブルの開発 Development of Pneumatic Servo Table for Accurate and Speedy Positioning Mounted with Externally Pressurized Air Bearings

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収録刊行物

  • 油圧と空気圧 = Journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society  

    油圧と空気圧 = Journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society 28(4), 451-457, 1997-07-15 

    日本油空圧学会

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被引用文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002779435
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00245082
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    02866900
  • NDL 記事登録ID
    4257577
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-850
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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