紫外線を用いたガス状有機化合物の除去方法の研究

• 井上 實

  富士通VLSI株式会社

• 若松 潤一

  トーヨコ理研

• 渋谷 幸徳

  トーヨコグループ技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Study on removal of gaseous organic compounds using UV irradiation

収録刊行物

• エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

  エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 14 84-86, 1997-08

詳細情報

• CRID: 1573105973901523200
• NII論文ID: 10002782437
• NII書誌ID: AA11498601
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles