ソースガスのイオン化によるCVD成膜装置内での粒子発生の抑制 Control of Particle Generation in CVD Reactor by Ionization of Source Vapor

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  • エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology

    エアロゾル科学・技術研究討論会 = Symposium on Aerosol Science & Technology 14, 180-182, 1997-08

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

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    ADACHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, L447, 1994

    被引用文献4件

  • <no title>

    ADACHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 35, 4438, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    ADACHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1148, 1995

    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002782558
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11498601
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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