金属クラスタを用いたナノ構造の形成

• 金山 敏彦

  アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所

• 多田 哲也

  アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所

• 古賀 健司

  産業技術融合領域研究所

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters
• キンゾク クラスタ オ モチイタ ナノ コウゾウ ノ ケイセイ

収録刊行物

• エアロゾル研究

  エアロゾル研究 13 (3), 204-208, 1998

  日本エアロゾル学会

キーワード

• Deposition of Metal Clusters
• Si Nanostructure
• Plasma Etching
• Condensation Nucleus
• Electron Beam Lithography
• Mass-Selected Cluster Ions
• Au Clusters
• Ag Clusters
• Cu Clusters

詳細情報

• CRID: 1390001204342275840
• NII論文ID: 10002783086
• NII書誌ID: AN10041511
• DOI: 10.11203/jar.13.204
• COI: 1:CAS:528:DyaK1cXmsFerur0%3D
• ISSN: 1881543X
• ISSN: 09122834
• NDL書誌ID: 4582955
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4582955
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles