特集にあたって Cleanroom Technology for LSIs in Next Generation

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著者

    • 諏訪 好英 SUWA Yoshihide
    • (株)大林組技術研究所フロンティア技術研究室 Deputy Chief Research Engineer, Frontier Technology Department, Technical Research Institute, OBAYASHI Corp.

収録刊行物

  • エアロゾル研究 = Journal of aerosol research  

    エアロゾル研究 = Journal of aerosol research 14(1), 10, 1999-03-20 

    日本エアロゾル学会

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002783220
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10041511
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09122834
  • データ提供元
    CJP書誌  J-STAGE 
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