Globalization of Cleanroom Standards — Development of International Cleanroom Standards in ISO/TC209 —

• FUJII Shuji

  Professor, Graduate School of Information Sciences and Engineering, Tokyo Institute of Technology

• SUWA Yoshihide

  Deputy Chief Research Engineer, Frontier Technology Department, Technical Research Institute, OBAYASHI Corp.

Bibliographic Information

Other Title

• クリーンルーム関連規格の国際的統一化への動き －ISO/TC209における国際規格作成作業とその概要－
• クリーンルーム カンレン キカク ノ コクサイテキ トウイツカ エ ノ ウゴキ ISO TC209 ニ オケル コクサイ キカク サクセイ サギョウ ト ソノ ガイヨウ

Journal

• Earozoru Kenkyu

  Earozoru Kenkyu 14 (1), 27-32, 1999

  Japan Association of Aerosol Science and Technology

Keywords

• Cleanroom
• International Standard
• ISO Technical Committee
• Cleanliness Class

Details

• CRID: 1390001204343474816
• NII Article ID: 10002783266
• NII Book ID: AN10041511
• DOI: 10.11203/jar.14.27
• ISSN: 1881543X
• ISSN: 09122834
• NDL BIB ID: 4685552
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4685552
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles