クリーンルーム関連規格の国際的統一化への動き -ISO/TC209における国際規格作成作業とその概要-

  • 藤井 修二
    東京工業大学大学院情報理工学研究科 教授
  • 諏訪 好英
    (株)大林組技術研究所フロンティア技術研究室 副主任研究員

書誌事項

タイトル別名
  • Globalization of Cleanroom Standards — Development of International Cleanroom Standards in ISO/TC209 —
  • クリーンルーム カンレン キカク ノ コクサイテキ トウイツカ エ ノ ウゴキ ISO TC209 ニ オケル コクサイ キカク サクセイ サギョウ ト ソノ ガイヨウ

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