High Scan Rate Leak Test Method for an Installed Filter System by Applying Statistics

• SUZUKI Kunio

  Manager, R & D Center, Techno Ryowa Ltd.

• OTSUKA Kazuhiko

  Manager, Clean System Division, Nitta Corp.

Bibliographic Information

Other Title

• 統計学応用による現場設置フィルタリーク試験の高速化 －ISO/TC209に提案しているリーク試験法の考え方について－
• トウケイガク オウヨウ ニ ヨル ゲンバ セッチ フィルタリーク シケン ノ コウソクカ ISO TC209 ニ テイアン シテ イル リーク シケンホウ ノ カンガエカタ ニ ツイテ

Journal

• Earozoru Kenkyu

  Earozoru Kenkyu 14 (1), 33-37, 1999

  Japan Association of Aerosol Science and Technology

Keywords

• Air Filter
• Measuring Technology
• Sampling
• Leak Scan Test
• Poisson Distribution
• Cleanroom
• ISO/TC209

Details

• CRID: 1390282679320191360
• NII Article ID: 10002783273
• NII Book ID: AN10041511
• DOI: 10.11203/jar.14.33
• ISSN: 1881543X
• ISSN: 09122834
• NDL BIB ID: 4685568
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4685568
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles