鏡面反射型マッハツェンダー干渉計を用いた表面変形の計測-画像処理を用いた干渉縞の解析-

• 櫻井 建成

  山口大学理工学研究科

• 猪本 修

  九州大学工学部

• 水上 嘉樹

  山口大学理工学研究科

• 三池 秀敏

  山口大学理工学研究科

• 甲斐 昌一

  九州大学工学部

収録刊行物

• 形の科学会報

  形の科学会報 12 (3), 64-65, 1998-03-01

詳細情報

• CRID: 1570572699110336384
• NII論文ID: 10002791935
• NII書誌ID: AN10581417
• ISSN: 09156089
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles