静圧空気スラスト軸受のガイドウェイにおけるローリングの静的角度変位特性 -三次元測定機用倣い測定プローブの場合-
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収録刊行物
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 233-234, 1995-09-01
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詳細情報
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- CRID
- 1572824498913120000
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- NII論文ID
- 10002804347
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles