静圧空気スラスト軸受のガイドウェイにおけるローリングの静的角度変位特性 -三次元測定機用倣い測定プローブの場合-

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詳細情報

  • CRID
    1572824498913120000
  • NII論文ID
    10002804347
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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