LD直交2周波光源を用いた共通光路干渉計による表面形状計測

• 中野 忠晴

  東京農工大学工学部

• 大谷 幸利

  東京農工大学工学部

• 吉澤 徹

  東京農工大学工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 269-270, 1995-09-01

Details

• CRID: 1572543023936058496
• NII Article ID: 10002804410
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles