局所サンプリング位相シフト法による高感度表面形状測定

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995(2), 273-274, 1995-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    GREIVENKAMP

    Optical Shop Testin, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    CREATH K.

    Progress in Optics XXVI, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    OTANI Y.

    Optical Review 1, 1, 103, 1994

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002804421
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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