局所サンプリング位相シフト法による高感度表面形状測定

• 大谷 幸利

  東京農工大学 工学部

• 沈 福辛

  東京農工大学 工学部

• 森 洋篤

  東京農工大学 工学部

• 吉澤 徹

  東京農工大学 工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 273-274, 1995-09-01

Details

• CRID: 1570854174075792000
• NII Article ID: 10002804421
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles