PVD薄膜による固体内部の温度測定

• 加藤 隆雄

  岐阜大学

• 桑原 稔

  岐阜大学

• 藤井 洋

  岐阜大学

• 増尾 嘉彦

  名古屋市工業研究所

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 401-402, 1995-09-01

Details

• CRID: 1571417124029424768
• NII Article ID: 10002804660
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles