Walking Driveによる精密送り機構(第7報)-駆動電圧波形の補正による超精密軌跡制御-

• 社本 英二

  神戸大学工学部

• 森脇 俊道

  神戸大学工学部

• 水上 忠雄

  東邦ガス

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 507-508, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1573950398819713664
• NII論文ID: 10002804859
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles