圧電素子を用いた高剛性多自由度微動ステージの開発(第4報)-γステージの試作-

• 山本 剛照

  長岡技術科学大学院

• 神浦 剛

  三菱マテリアル(株)

• 大岩 孝彰

  静岡大学工学部

• 久曽神 煌

  長岡技術科学大学工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 509-510, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1570291224122476032
• NII論文ID: 10002804861
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles