0.3μmLSI用レチクル上の異物検出技術の開発(第2報)-システムおよび検出性能-

• 宍戸 弘明

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 松本 俊一

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 見坊 行雄

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 法元 盛久

  (株)日立製作所 半導体事業部

• 古泉 裕弘

  (株)日立製作所 半導体事業部

• 吉崎 禅哉

  日立電子エンジニアリング(株)

• 島田 博史

  日立電子エンジニアリング(株)

• 浅見 浩一

  日立電子エンジニアリング(株)

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 545-546, 1995-09-01

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• CRID: 1571417124029580032
• NII Article ID: 10002804920
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles