レーザによるシリコンの微細加工シミュレーション

• 福本 一郎

  茨城大院

• 大村 悦二

  茨城大工

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 617-618, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1572261548959352576
• NII論文ID: 10002805055
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles