プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)における加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション(第5報)-Si表面とハロゲン原子の相互作用の解析(その3)-

• 山村 和也

  大阪大学大学院

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院

• 山内 和人

  大阪大学大学院

• 広瀬 喜久治

  大阪大学大学院

• 後藤 英和

  京都工芸繊維大学

• 坂本 正雄

  新技術事業団

• 森 勇藏

  大阪大学大学院

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 625-626, 1995-09-01

Details

• CRID: 1574231873796325760
• NII Article ID: 10002805066
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles