ダイヤモンド(100)面のイオンビーム援用化学加工(第1報)-酸素ガスを吹き付けた場合-

• 宮本 岩男

  東京理科大学 基礎工学部

• 北沢 一茂

  東京理科大学 基礎工学部

• 清原 修二

  東京理科大学 基礎工学部

• 杉浦 直樹

  東京理科大学 基礎工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 631-632, 1995-09-01

Details

• CRID: 1572261548959349504
• NII Article ID: 10002805075
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles