ラジカルソースMBE法を用いたSi(111)基板上AIN薄膜のエピタキシャル成長

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995(2), 659-660, 1995-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    MIYAUTCHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, L1714, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZOTOV A. V.

    Surf. Sci. 316, L1034, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    NISHIKATA K.

    Surf.Sci. 269/270, 995, 1992

    DOI 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002805122
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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