軽量化ミラーの超精密研磨に関する計算機実験

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著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集  

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995(2), 707-708, 1995-09-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002805197
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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