結晶格子nmスケールのμmレベルの測長 (第2報 : 高速走査による熱ドリフト誤差の低減化)

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995(2), 865-866, 1995-09-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    川勝

    1992年度秋季精密工学会学術講演会論文集 265

    被引用文献1件

  • <no title>

    明田川

    1995年度春季精密工学会学術講演会論文集 617

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002805485
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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