紫外線感光性樹脂を使った集束レーザビーム描画法による3次元マイクロ部品の製作

• 山口 勝美

  名大

• 中本 剛

  名大

• ABRAHA Petros

  ミヤマ工業

• 伊藤 昭

  名大(院)

• 三島 邦裕

  名大(院)

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1995 (2), 885-886, 1995-09-01

詳細情報

• CRID: 1573105973889962368
• NII論文ID: 10002805515
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles