熱変形に基づく真空チャックの平面度変化(FEM数値解析の結果)

• 鷲巣 直哉

  新潟大学・院

• 横山 和宏

  新潟大学・工

• 山田 和孝

  新潟大学・工

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 519-520, 1996-03-01

Details

• CRID: 1570854174075892352
• NII Article ID: 10002806471
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles