大気圧・高周波プラズマの特性-励起周波数, 圧力の違い-

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(1), 635-636, 1996-03-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

  • <no title>

    片岡

    1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 449-450

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002806633
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ