ECR型イオン源を用いたダイヤモンド(100)面の酸素イオンビーム加工(第3報)-加工速度のガス圧力依存性について-
Search this article
Journal
-
- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
-
精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 637-638, 1996-03-01
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1573950398819619200
-
- NII Article ID
- 10002806635
-
- NII Book ID
- AN1018673X
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- CiNii Articles