酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第4報)-加速電圧を変えた場合-

• 谷口 淳

  東京理科大学 基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学 基礎工学部

• 国府 哲也

  東京理科大学 基礎工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 641-642, 1996-03-01

詳細情報

• CRID: 1570291224122382976
• NII論文ID: 10002806641
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles