STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(1), 967-968, 1996-03-01

参考文献:  1件中 1-1件 を表示

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    STROSCIO J. A.

    Phys. Rev. Lett. 57, 2579, 1986

    被引用文献5件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807183
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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