AFMカンチレバーの共振モード検出における光波干渉法と光てこ法の比較

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(1), 1015-1016, 1996-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    Olympus Optical Co.

    カンチレバーの寸法, 材質, 機械的特性

    被引用文献1件

  • <no title>

    PATMAN Constant A. J.

    Ultramicroscopy 42-44, 1509-1513, 1992

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    ERLANDSSON R.

    J. Vac. Sci. Technol A 6-2, 266-270, 1988

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807270
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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