電気泳動現象を利用した光学ガラスの超精密研磨 (FFF) (第4報) -加工液循環方式研磨装置の研磨特性-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集  

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(1), 1059-1060, 1996-03-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807360
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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