微小ギャップ制御機構の開発

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(1), 1073-1074, 1996-03-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    広瀬

    応用物理 61(11), 1124, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    宇根

    精密工学会誌 60(12), 1771, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    谷口

    精密工学会誌 55(5), 133, 1989

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807378
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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