高精度角度変位測定へのレーザ干渉測長器の応用 - 誤差要因の検討とその評価 -

• 今井 登

  上智大学理工

• 安井 繁騎

  上智大学理工

• 清水 伸二

  上智大学理工

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 1097-1098, 1996-03-01

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• CRID: 1573387448866571520
• NII Article ID: 10002807428
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles