二次元超音波アクチュエータを用いた回転・リニアモータの研究 -アクチュエータ間の干渉を除去した精密位置決め-

• 林 巌

  東工大

• 岩附 信行

  東工大

• 柴田 順二

  芝浦工大

• 山本 亮

  芝浦工大

• 鈴木 裕

  ミツトヨ

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (1), 1099-1100, 1996-03-01

Details

• CRID: 1571980073983019136
• NII Article ID: 10002807430
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles