小型自走機械群による超精密生産機械システム (第24報 高真空中での微細物理加工の試み(2))

• 水谷 謙一郎

  静岡大学工学部

• 青山 尚之

  静岡大学工学部

• 岩田 太

  静岡大学工学部

• 佐々木 彰

  静岡大学工学部

• 久保 高啓

  静岡大学工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 5-6, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1571417124029281920
• NII論文ID: 10002807522
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles