ガラス磁気ディスク基板の超平滑ポリシングに関する研究(第1報) -ポリシング圧力の影響-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(2), 63-64, 1996-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    安井

    精密工学会誌 60, 1, 128, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    安井

    精密工学会誌 60, 11, 1631, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    佐藤

    精密工学会誌 60, 9, 1268, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807623
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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