ガラス磁気ディスク基板の超平滑ポリシングに関する研究(第1報) -ポリシング圧力の影響-

• 安井 平司

  熊本大工

• 武田 勇治

  熊本大院

• 小林 高之

  熊本大院

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 63-64, 1996-09-01

Details

• CRID: 1573950398819807872
• NII Article ID: 10002807623
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles