ラジカルソースMBE法によるSi(111)基板上AIN薄膜の成長第2報)-成膜条件の最適化-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(2), 83-84, 1996-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

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    竹内昭博

    精密工学会1995年度関西地方定期学術講演会講演論文集 69

    被引用文献2件

  • <no title>

    MIYAUCHI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 31, L1714, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    WRIGHT S.

    Appl. Phys. Lett. 36, 210, 1980

    被引用文献5件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807655
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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