ダイヤモンド(100)面のイオンビーム援用化学加工(第2報) -比加工速度の試料温度依存性について-

• 清原 修二

  東京理科大学 基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学 基礎工学部

• 北沢 一茂

  東京理科大学 基礎工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 191-192, 1996-09-01

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• CRID: 1572543023936243456
• NII Article ID: 10002807823
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles