酸素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第5報) -電子ビームの照射面積を広くした場合-

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 大野 直人

  東京理科大学基礎工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 193-194, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1573105973889665664
• NII論文ID: 10002807827
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles