直描式レーザCVDによるタングステン薄膜の選択的形成に関する検討 -微小光電変換デバイス用微細配線用-

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(2), 253-254, 1996-09-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    榊原

    1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 925

    被引用文献1件

  • <no title>

    MCWILLIAMS B. M.

    Appl. Phys. Lett. 43, 10, 946, 1983

    被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002807928
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ