CMMの周囲温度の動的変動が測定精度に与える影響

• 佐藤 海ニ

  東工大精研

• 進士 忠彦

  東工大精研

• 玉井 秀雄

  東工大大学院

• 下河辺 明

  東工大精研

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 301-302, 1996-09-01

Details

• CRID: 1574231873796393216
• NII Article ID: 10002808027
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles