アブラムソン干渉計を用いた反射物体の表面形状計測(第1報) -多重干渉による影響の考察-

• 山本 将之

  東京農工大学工学部

• 大谷 幸利

  東京農工大学工学部

• 吉澤 徹

  東京農工大学工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 441-442, 1996-09-01

Details

• CRID: 1572543023936257280
• NII Article ID: 10002808254
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles