磁性薄膜を用いた片持ち梁型アクチュエータの駆動原理に関する一考察

• 本田 崇

  東北大学電気通信研究所

• 荒井 賢一

  東北大学電気通信研究所

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996 (2), 473-474, 1996-09-01

詳細情報

• CRID: 1571135649052805888
• NII論文ID: 10002808310
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles