静圧支持ピストン構造をとる超精密エアサーボテーブル

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(2), 513-514, 1996-09-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    井澤貫

    精密位置決め技術-その設計テクニック 90-92, 226-231, 1989

    被引用文献2件

  • 静圧気体軸受けの基礎特性

    森淳暢

    昭和63年度精密工学会, 高剛性静圧軸受けに関する研究協力分科会資料, 1988

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002808374
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ