すべり案内機構の超精密運動制御(第1報) -微小変位領域における非線形性と補償制御-

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著者

収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1996(2), 515-516, 1996-09-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002808377
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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