強誘電体メモリ(FRAM)と薄膜材料技術

• 伊藤 康幸

  シャープ(株)超LSI開発研究所

書誌事項

タイトル別名

• Ferroelectric Thin Film Technologies and Ferroelectric Nonvolatile Memories
• キョウユウデンタイ メモリ FRAM ト ハクマク ザイリョウ ギジュツ

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）

  電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 117 (3), 214-216, 1997

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 強誘電体薄膜
• 低温成膜技術
• 酸化物電極
• 不揮発性メモリ

詳細情報

• CRID: 1390001204607773440
• NII論文ID: 130006843657
• NII論文ID: 10002809461
• NII書誌ID: AN10065950
• DOI: 10.1541/ieejeiss1987.117.3_214
• ISSN: 13488155
• ISSN: 03854221
• NDL書誌ID: 4149756
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4149756
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss1987/117/3/117_3_214/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles