遮へいマスクを用いた高品位レーザアブレーション成膜法(エクリプス法)

• 立木 実

• 小林 猛

書誌事項

タイトル別名

• シャヘイ マスク オ モチイタ コウ ヒンイ レーザ アブレーション セイマク

収録刊行物

• 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems

  電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems 117 (12), 1856-1861, 1997-11

  東京 : 電気学会

詳細情報

• CRID: 1520290885260966272
• NII論文ID: 10002812589
• NII書誌ID: AN10065950
• ISSN: 03854221
• NDL書誌ID: 4353422
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4353422
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles