窒素-アルゴン混合ガスプラズマジェットによる窒化ホウ素薄膜の生成 Preparation of boron nitride thin films by N_2-Ar plasma jet

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  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 116(6), 566-567, 1996-06

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    菅野武

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    被引用文献2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002819799
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    03854205
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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