プラズマソースイオン注入法によるTiN相の作製とその特性評価 Surface Characterization of TiN Prepared by Plasma Source Ion Implantation

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society  

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 117(8), 891-892, 1997-08 

参考文献:  4件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

被引用文献:  1件

被引用文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002822680
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    03854205
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
ページトップへ